¡¡¡¡¡¾ÒýÑÔ¡¿ÎªÊ²Ã´Í»È»»á²úÉúºü³ô£¬ÓŽ࿧ȥ³ýºü³ôЧ¹ûºÃ΢£ºyoujieka¡£Óкü³ôµÄÎÒÃǵÄÐÄËᣬ¹À¼ÆûÓкü³ôµÄÈËÊDz»ÄÜÌå»áµÄ¡£TE±ðÊÇÏÄÌ죬ζµÀǺ±Ç£¬Ö»Òª¿¿½ü×ÜÊÇÄÜÎŵ½ÒìÑùµÄζµÀ£¬ºÜ¶àÈ˾åű»´«È¾ºü³ô¶ø²»¸ÒÌ«¹ý½Ó´¥£¬µ¼ÖÂÓкü³ôµÄÎÒÃǺÜ×Ô±°¡£
¡¡¡¡¡¾ÓŽ࿧¡¿ÓëÊÐÃæÉϵIJúÆ·¶¼ÓÐËù²»Í¬£¬ÓŽ࿧ÊÇͨ¹ýһͿµ÷Àí£¬Ò»ÅçȥζµÄÔÀí£¬Í¨¹ýÍ¿ÓŽ࿧¾»Î¶ËªÍ¸Æ¤ÎüÊÕ£¬°ÐÏò×÷ÓÃÓÚ´óº¹ÏٹܱÚϸ°ûËõС¹Ü±Úϸ°û¼ä϶¡£Ê¹´óº¹ÏٹܱÚϸ°û»Ö¸´ÖÁÕý³£×´Ì¬(75nm-100nm)ʱ£¬Ê¹´óº¹ÏÙÉú̬Ç÷ÓÚƽºâ£¬Ö¬ÖÊ´ó·Ö×Ó²»ÄÜÉø͸µ½ÌåÍ⣬´Ó¸ùÔ´ÒÖÖÆÒ¸ÏÂÒìζ×ÌÉú£¬ÁíÍâÔÙͨ¹ýÓŽ࿧¾»Î¶ÅçÎí£¬¾ùÔÈÅçͼҸϲ»½ö´Ù½øÓŽ࿧¾»Î¶ËªµÄÎüÊÕ£¬¸üÆðµ½ÒÖ¾úµÄЧ¹û¡£Á½ÕߺýáºÏÈÃÄãÔÚûÓÐÒìζÀ§ÈŵÄÇé¿öÏ£¬ÇáÇáËÉËÉ´Ó¸ùÔ´È¥³ýºü³ô¡£
¡¡¡¡ºü³ôÊÇÔõô»ØÊÂ
¡¡¡¡1¡¢ÉÙÊýºü³ô»¼ÕßÒò²úÉúµÄÖ¬Öʹý𤣬²»ÄÜÕý³£Á÷ͨÔÚ¾Ö²¿º¹ÏÙ·¢ÉúÒì±ä¶øÒýÆðͨÌåÒìζ¡£
¡¡¡¡2¡¢ºü³ôÊÇÒ»ÊÇÈ«Éíº¹³ôÖ¢£¬ÓÉСº¹ÏÙÒýÆð¶àº¹´Ùʹ·±Ö³£¬·Ö½âƤ·ô±íÃæµÄÎÛ¹¸¶øÉ¢·¢³ö³ôÆø;ÁíÒ»ÖÖÊǾֲ¿Xº¹³ôÖ¢£¬ÓÉ´óº¹ÏÙÒýÆ𣬶àÊýºü³ô»¼ÕßÓмÒ×åÊ·£¬´óº¹ÏÙ·ÖÃÚÒºÖлӷ¢XÖ¬·¾Ëá»áÉ¢·¢³öTEÊâµÄºü³ôµÄ³ôÆø¡£
¡¡¡¡3¡¢Ïļ¾ºü³ôÒÔѪÇ×ÒÅ´«Îª¶à·¢£¬ºü³ôµÄÔÒòÆäÖ÷ÒªbingÒòÊÇÏÈÌìX´óº¹ÏÙ·ÖÃÚÒì³££¬ºü³ô»¼ÕߵķÖÃÚÎïÓ뺹Һ¼°Íⲿ×÷ÓöøÐγɹý¶à²»±¥ºÍÖ¬·¾Ëᣬ֬·¾ËáÓÐÒ»¶¨ÆÚÕ³¶È£¬ÔÚÁ÷ͨ¹ý³ÌÖз¢Éúð¤Õ³£¬³Á»ýÓÚëÄÒÏÙÒ²½Ï¶à£¬ËùÒÔÒ¸ÎÑΪÖ÷·¢bingÇø¡£
¡¡¡¡ºü³ôÈçºÎ
¡¡¡¡¶Ô´Ëר~¼ÒÖ¸³ö£ºÓŽ࿧¡¾Î¢£º836015816¡¿Í¨¹ý¡°¾»¡¢ÐÞ¡¢Æ½¡¢¹Ì¡±µÄÔÀíÀ´´ïµ½È¥³ýºü³ôµÄЧ¹û£¬¶øÇÒ¿ÉÓÐЧÖκúü³ô£¬µÍ·´¸´¡£ÓŽ࿧ʹÓöà¾ÃÄܺã¬ÏÂÃæÎÒÃÇ¿´¿´ÁÙ´²Êýju£º
¡¡¡¡ÏȽøÖÜ.ÆÚ ¾»Î¶Çåˬ
¡¡¡¡Õë¶ÔÇá΢Òìζºü³ôÈËȺ£¬ÝÍÈ¡¶àÖÖÖ²Îᆱ»ª£¬ÇÒ·ÀÖ¹×ÌÉú£¬½øÐÐÉî²ãµ÷½Ú´óº¹ÏٹܱÚϸ°û¼ä϶£¬¿ìËÙÓÉÄÚ¶øÍâÒìζ£¬Ê¹Òì³ôÌåζÖð½¥»Ö¸´½¡¿µÎÞÒìζµÄÌåÏ㣬¾Ü¾øÞÏÞγ¡Ãæ¡£
¡¡¡¡µÚ¶þÖÜ.ÆÚ ËõС¹Ü±Úϸ°û¼ä϶ Ò¸ÏÂÁôÏã
¡¡¡¡Õë¶ÔÇá¶È¡¢ÖжȺü³ôÈËȺ£¬²ÉÓô«Í³Åä·½ÓëÏÖ´úke¼¼Ïà½áºÏ£¬°ÐÏò×÷ÓÃÓÚ´óº¹ÏٹܱÚϸ°û£¬Áî´óº¹ÏٹܱÚϸ°ûÖØзÖ.ÁÑÅÅÐò¹Üϸ°û£¬´Ó¶øʹ´óº¹ÏٹܱÚϸ°û¼ä϶½øÒ»²½ËõС£¬£¬È¥³ýÒì棬±£³ÖÒ¸ÏÂÇåУ¬Ê¹ºü³ôÖð²½Ïûʧ¡£
¡¡¡¡µÚÈýÖÜ.ÆÚ ¹Ü±Úϸ°û¼ä϶»Ö¸´Õý³£
¡¡¡¡Òìζ²»ÔÙ·´µ¯Õë¶ÔÖضȺÍÊÖ.Êõºó·´¸´ÈËȺ£¬Ê¹´óº¹ÏٹܱÚϸ°û¼ä϶»Ö¸´Õý³££¬´Ó¶øÁî´óº¹ÏÙÉú̬Öð²½Ç÷ÓÚƽºâ£¬Ò¸Ï·ÖÃÚÎïÖð½¥±äµÃÎÞÉ«¡¢ÎÞÕ³X£¬Åź¹Á¿Ã÷ÏÔ¼õÉÙ£¬ºü³ôÒìζÏûʧ£¬²»ÔÙ·´µ¯¡£
¡¡¡¡µÚËÄÖÜ.ÆÚ ¹®¹Ì´óº¹ÏÙÉú̬ƽºâ
¡¡¡¡ÓÐЧ¸æ±ðºü³ôÕë¶ÔÖضȺü³ôÒÔ¼°ÒÅ´«Xºü³ô£¬Òìζʱ¼ä±È½Ï¾Ã£¬Î¶µÀ±È½Ï´Ì±ÇµÄÈËȺ£¬´Ùʹ¹Ü±Úϸ°û»Ö¸´ÖÁÕý³£×´Ì¬(75nm-100nm)ʱ£¬´óº¹ÏÙÉú̬ƽºâ½øÒ»²½¹®¹Ì£¬¸æ±ðºü³ô£¬·Ò·¼ÃÖÂþÒÔ±£zhengÒìζ²»ÔÙ·´µ¯¡£
¡¡¡¡¡¾½¡¿µ³£Ê¶¡¿ÎªÊ²Ã´Í»È»»á²úÉúºü³ô£¬·¢ÏÖ×Ô¼º²»ÐÒ»¼ÉϺü³ô£¬±ÜÃâºü³ôµÄ½ÏºÃ·½·¨¾ÍÊÇÒÔÇåµµÄÒûʳΪÖ÷£¬¶à³Ô¸»º¬Ë®·ÖµÄ¹Ï¹ûÊ߲ˣ»ÉÙ³ÔÈâ¡¢ÓÍÕ¨ºÍÐÁÀ±´Ì¼¤XµÄʳÎ¼ÉÑ̾ƣ¬ÒòΪͨ¹ýÒûʳµÄµ÷Àí¿ÉÒÔÔÚÒ»¶¨³Ì¶ÈÉϵÄ×´¿ö£¬¶Ôºü³ôÓÐÒ»¶¨µÄ¡£ÁíÍâ±£³ÖÁ¼ºÃµÄÇéÐ÷£¬ÉÙ×÷¹ýÁ¿µÄÔ˶¯£¬×÷Ϣʱ¼äµ÷½ÚºÃ£¬Ò²ÄÜ»º½âºü³ôµÄ¡£
--------------·Ö¸îÏß--------------
¡¡¡¡Ð¾©±¨¿ìѶ( ºÎÇ¿)½ñÈÕ(11ÔÂ23ÈÕ)´Ó˾·¨²¿»ñϤ£¬ÎªÁ˸øÃñÓªÆóÒµ·¢Õ¹Ìṩ·¨Öα£ÕÏ£¬Ë¾·¨²¿½üÈÕ·¢²¼Òâ¼ûÖ¸³ö£¬Òª·ÀÖ¹Ö´·¨²¿ÃŶÔÃñÓªÆóÒµ²ÉÈ¡¡°Ò»µ¶ÇС±µÈ¼òµ¥´Ö±©×ö·¨£¬¶ÔÃñÓªÆóÒµ¾ÓªÖеÄÒ»°ãÎ¥·¨ÐÐΪ£¬ÒªÉóÉ÷Ñо¿¡¢Í×ÉÆ´¦Àí£¬²»ÄÜһζ´¦·£¡¢Ò»·£ÁËÊ£¬¼á¾ö±ÜÃâ¶ÔÊг¡»î¶¯µÄ¹ý¶È¸ÉÔ¤¡£
¡¡¡¡juÁ˽⣬´Ë´Î˾·¨²¿°ä²¼µÄ¡¶¹ØÓÚ³ä·Ö·¢»ÓÖ°ÄÜ×÷ÓÃΪÃñÓªÆóÒµ·¢Õ¹ÓªÔìÁ¼ºÃ·¨Öλ·¾³µÄÒâ¼û¡·£¬Ö÷ҪΧÈƼõÇáÃñÓªÆóÒµ¸ºµ£¡¢½â¾öÃñÓªÆóÒµ·¢Õ¹ÄÑÌâ¡¢ÓªÔ칫ƽ¾ºÕù»·¾³µÈ·½Ã棬Ìá³öÁ˼ӿìÍƽøÏà¹Ø·¨ÂÉ·¨¹æÁ¢¸Ä·ÏÊÍ¡¢Ñϸñ¹æ·¶¹«ÕýÎÄÃ÷Ö´·¨¡¢´´ÐÂÍØÕ¹¹«¹²·¨ÂÉ·þÎñ¡¢Òýµ¼ÃñÓªÆóÒµÒÀ·¨¾ÓªÒÀ·¨ÖÎÆóµÈ4¸ö·½Ãæ20Ïî¾ßÌå´ëÊ©¡£
¡¡¡¡È·Á¢¡°·¨ÎÞ½ûÖ¹¼´¿É×¼È롱ÔÔò ¼Ó¿ìÏà¹Ø·¨ÂÉ·¨¹æÐÞ¸ÄÖƶ¨×¢Òâµ½£¬Òâ¼û¶ÔÃñÓªÆóÒµÔÚÊÇÊг¡×¼Èë¡¢²úȨ±£»¤¡¢Í¶ÈÚ×ʵȷ½ÃæÓöµ½µÄÎÊÌ⣬×öÁËÃ÷È·¹æ¶¨¡£
¡¡¡¡Òâ¼ûÖ¸³ö£¬ÒªÖصãΧÈÆÃñÓªÆóÒµÔÚÊг¡×¼Èë¡¢²úȨ±£»¤¡¢Í¶ÈÚ×Ê¡¢¹«Æ½¾ºÕùµÈ·½ÃæÓöµ½µÄÀ§ÄÑÎÊÌ⣬ȷÁ¢ÃñÓªÆóÒµ¡°·¨ÎÞ½ûÖ¹¼´¿É×¼È롱ÔÔò£¬¼Ó¿ìÍƶ¯ÐÞ¸ÄÖƶ¨Ïà¹Ø·¨ÂÉ·¨¹æ¡£½øÒ»²½ÂäʵÃñÓªÆóÒµµÄͶ×ÊÖ÷ÌåµØ룬±£»¤ÃñÓªÆóÒµÎïȨ¡¢Õ®È¨¡¢¹ÉȨ¡¢ÖªÊ¶²úȨµÈ¸÷ÖÖÀàÐ͵IJƲúȨ¡£
¡¡¡¡´ËÍ⣬Òâ¼ûÒªÇóÒª³ä·Ö±£ÕÏÃñÓªÆóҵƽµÈ»ñȡͶ×ʲ¹ÖúµÈÕþ¸®Í¶×Ê×ʽð£¬ÓÐЧ»º½âÃñÓªÆóÒµÈÚ×ÊÄÑÈÚ×ʹó£¬ÊµÏÖ¸÷ÀàÊг¡Ö÷ÌåËßËϵØλƽµÈ¡¢·¨ÂÉÊÊÓÃƽµÈ¡¢·¨ÂÉÔðÈÎƽµÈ£¬±£ÕÏÃñÓªÆóÒµÓëÆäËûÊг¡Ö÷Ì幫ƽ¾ºÕù¡£Í¨¹ýÁ¢·¨¼ÓÇ¿Õþ¸®ÕþÎñ³ÏÐŽ¨É裬¿ÉÒÔÕþ¸®ÊØÔ¼¼ùŵ£¬·ÀÖ¹ËæÒâÎ¥Ô¼»ÙÔ¼¡¢¡°Ð¹ٲ»Àí¾ÉÕË¡±µÈÎÊÌâ¡£
¡¡¡¡¶ÔÓÚ²»ÀûÓÚÃñÓªÆóÒµ·¢Õ¹µÄ·¨ÂÉ·¨¹æºÍ¹æ·¶XÎļþ£¬Òâ¼û³ÆÒªÇåÀí£¬ÔÚ2018ÄêÄêµ×Ç°¼¯ÖÐÇåÀíÏÖÐз¨ÂÉ·¨¹æºÍ¹æ·¶XÎļþÖÐÓÐã£ÓÚƽµÈ±£»¤ÔÔò¡¢²»ÀûÓÚÃñÓª¾¼Ã·¢Õ¹µÄ£¬¼°Ê±ÓèÒÔ·ÏÖ¹»òÕßµ÷ÕûÍêÉÆ£¬´òÆƸ÷ÖÖ¸÷ÑùµÄ¡°¾íÁ±ÃÅ¡±¡°²£Á§ÃÅ¡±¡°ÐýתÃÅ¡±¡£
¡¡¡¡Òâ¼ûÒªÇóÒª½øÒ»²½¼ÓÇ¿·¨¹æ¹æÕ±¸°¸Éó²é£¬¼°Ê±¾ÀÕýÓÐã£ÓÚ±£»¤ÃñÓª¾¼ÃµÄ·¨¹æ¹æÕ¹涨£¬»ý¼«ÎªÃñÓªÆóÒµ·¢Õ¹ÌṩƽµÈ·¨Öα£ÕÏ¡£
¡¡¡¡·ÀÖ¹Ö´·¨²¿ÃŶÔÃñÓªÆóÒµ²ÉÈ¡¼òµ¥´Ö±©¡°Ò»µ¶ÇС±¡£
¡¡¡¡¶ÔÃñÓªÆóÒµºÏ·¨È¨Òæ±£»¤ÎÊÌ⣬Òâ¼ûÒ²×÷³öÃ÷È·¹æ¶¨¡£
¡¡¡¡Òâ¼û³Æ£¬¶ÔÃñÓªÆóÒµºÍÈËÔ±µÄÒ»°ãÎ¥·¨ÐÐΪ£¬É÷Óòé·â¡¢¿ÛѺ¡¢¶³½áµÈ´ëÊ©£¬´óÏ޶ȽµµÍ¶ÔÉæ°¸ÆóÒµÕý³£Éú²ú¾Óª»î¶¯µÄ²»ÀûÓ°Ïì¡£ÒÀ·¨±ØÐë²ÉÈ¡²é·â¡¢¿ÛѺ¡¢¶³½á´ëÊ©´¦ÖÃÉæ°¸²ÆÎïµÄ£¬±ØÐëÑϸñÇø·Ö¸öÈ˲ƲúºÍÆóÒµ·¨È˲Ʋú¡¢Çø·ÖÎ¥·¨ËùµÃºÍºÏ·¨²Æ²ú¡¢Çø·ÖÉæ°¸ÈËÔ±¸öÈ˲ƲúºÍ¼ÒÍ¥³ÉÔ±²Æ²ú£¬½á°¸ºó¼°Ê±½â·â¡¢½â¶³·ÇÉæ°¸²ÆÎï¡£
¡¡¡¡Òâ¼ûÒªÇóÒª¹«Æ½¹«ÕýÖ´·¨£¬ÍÆÐÐÐÐÕþ²ÃÁ¿È¨»ù×¼Öƶȣ¬Ï¸»¯¡¢Á¿»¯ÐÐÕþ´¦·£±ê×¼£¬¼á¾öÞð³ýËæÒâ¼ì²é¡¢¶àÖؼì²é¡¢Öظ´´¦·£µÈÖ´·¨ÆçÊÓÐÐΪ¡£
¡¡¡¡¶ÔÓÚÎÄÃ÷Ö´·¨ÎÊÌ⣬Òâ¼û³Æ£¬·²ÎÞ·¨ÂÉÒÀjuµÄ£¬Ò»Âɲ»µÃ¿ªÕ¹Ö´·¨¼ì²é£¬ÑÏ·ÀÖ´·¨ÈÅÆó¡£ÇÐʵ·ÀֹһЩ²¿ÃÅÔÚÖ´·¨ÖжÔÃñÓªÆóÒµ²ÉÈ¡¡°Ò»µ¶ÇС±µÈ¼òµ¥´Ö±©×ö·¨£¬¶ÔÃñÓªÆóÒµ¾ÓªÖеÄÒ»°ãÎ¥·¨ÐÐΪ£¬ÒªÉóÉ÷Ñо¿¡¢Í×ÉÆ´¦Àí£¬¿ÉÒÔͨ¹ý˵·þ¡¢½¨Òé¡¢ÐÉ̵ÈÊֶνâ¾öµÄ£¬ÒªÒÔ½ÌÓýΪÖ÷£¬²»ÄÜһζ´¦·£¡¢Ò»·£ÁËÊ£¬¼á¾ö±ÜÃâ¶ÔÊг¡»î¶¯µÄ¹ý¶È¸ÉÔ¤¡£
¡¡¡¡¶ÔÃñÓªÆóҵͶËß¾Ù±¨µÄ¡°ÂÒÖ´·¨¡¢ËæÒâÖ´·¨¡±ÎÊÌ⣬Òâ¼ûÒªÇó±ØÐ뼰ʱ²é´¦£¬×öµ½Óдí±Ø¾¿£¬¶ÔÓйØÔðÈÎÈËÔ±ÒÀ·¨ÎÊÔð¡£
¡¡¡¡½ñÄêÄêµ×Ç° ÂÊÏÈÔÚ˾·¨ÐÐÕþϵͳȡÏû²»±ØÒªÖ¤Ã÷ÊÂÏî×¢Òâµ½£¬´Ë´Î°ä²¼µÄ20Ìõ´ëÊ©»¹ÒªÇóÒªÍƽø¸÷µØÇø¸÷²¿ÃŽøÒ»²½¼òÕþ·ÅȨ¡¢¾«¼òÉóÅúÊÂÏ¼¤·¢ÃñÓªÆóÒµ¾Óª»îÁ¦ºÍ·¢Õ¹¶¯Á¦¡£
¡¡¡¡Òâ¼û³Æ£¬Òª×éÖ¯×öºÃÖ¤Ã÷ÊÂÏîÇåÀí¹¤×÷£¬¶ÔÃñÓªÆóÒµÔÚ·¨ÂÉ·þÎñÍø¡°ÈºÖÚÅúÆÀ--Ö¤Ã÷ÊÂÏîÇåÀíͶË߼ල¡±Æ½Ì¨·´Ó³µÄÎÊÌâ¡¢Ìá³öµÄÅúÆÀÒâ¼û£¬¼°Ê±¶½´ÙÓйصط½ºÍ²¿ÃÅ×¥½ôÈ¡ÏûÎ¥·¨É趨µÄÖ¤Ã÷ÊÂÏÇÐʵ±ÜÃâÃñÓªÆóÒµ°ìÊÂÄÑ¡¢°ìÊÂÂý¡¢¶àÍ·ÅÜ¡¢À´»ØÅÜ¡¢²»·½±ãµÈÎÊÌ⣬¶ÔÓÚÆÕ±éXÎÊÌ⣬¼°Ê±Í¨¹ý·¨¶¨³ÌÐò´ÓÖƶÈÉϼÓÒÔ½â¾ö¡£
ΪʲôͻȻ»á²úÉúºü³ô ÓŽ࿧Ó뽡¿µÃÀÀöÏà°é
ÇåÔ¶ÃÀÈÝÃÀÌåÏà¹ØÐÅÏ¢
10ÔÂ10ÈÕ
10ÔÂ9ÈÕ
2ÔÂ27ÈÕ
2ÔÂ5ÈÕ
2023-09-05
2023-08-17
2023-08-13
2023-08-12
2023-08-11
2023-08-02 Ë¢ÐÂ